線性精密平臺(tái)
線性精密平臺(tái)也叫直線電機(jī)平臺(tái)趨勢、精密定位滑臺(tái)生產效率。主要應(yīng)用于工裝夾取。移載更適合、定位,自動(dòng)化工作站溝通協調,半導(dǎo)體設(shè)備要素配置改革、TFT-LCD液晶面板設(shè)備,太陽(yáng)能設(shè)備保障性,LED線上設(shè)備帶動產業發展,機(jī)械內(nèi)部XYZ軸工作平臺(tái)、點(diǎn)膠十分落實、鎖螺絲倍增效應、視覺(jué)檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備等製造業,高速高精度場(chǎng)所優化服務策略。
隨著半導(dǎo)體光刻技術(shù)、微型機(jī)械發展基礎、精密測(cè)量兩個角度入手、超精密加工、微裝配和納米技術(shù)的迅速發(fā)展競爭力,對(duì)精密定位系統(tǒng)的行程充分、速度和精度等提出了越來(lái)越高的要求, 其控制精度在微米級(jí)集聚,甚至納米級(jí)的范圍內(nèi)競爭力。
精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是集精密位置檢測(cè)技術(shù)、驅(qū)動(dòng)技術(shù)狀況、直線導(dǎo)向技術(shù)機製性梗阻、控制技術(shù)為一體的有機(jī)綜合體。其中全過程,驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)直接決定了平臺(tái)的速度集成應用、精度、行程和整個(gè)系統(tǒng)的效率不負眾望。
直線電機(jī)在線性精密平臺(tái)上的應(yīng)用
在傳統(tǒng)的定位技術(shù)中高效流通,常選用“伺服電機(jī)+滾珠絲杠”的方式,由于具有運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),不可避免地存在間隙誤差功能,雖然經(jīng)過(guò)預(yù)緊后可實(shí)現(xiàn)良好的傳動(dòng)精度應用的因素之一,但使其達(dá)到精度代價(jià)不菲。
直線電機(jī)作為超聲電機(jī)中的一類(lèi)預期,利用壓電元件的逆壓電效應(yīng)和彈性體的超聲振動(dòng)敢於監督,通過(guò)定子和動(dòng)子之間的摩擦作用,把彈性體的微幅振動(dòng)轉(zhuǎn)換成動(dòng)子宏觀的直線運(yùn)動(dòng)結構。
直線電機(jī)不僅能夠直接產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng)和牽引力重要的作用,而且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)快規模最大、斷電自鎖穩中求進、不受電磁干擾等特點(diǎn),同時(shí)具有較大的行程以及精確的位移分辨率成效與經驗。
利用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的平臺(tái)適應性,具有傳動(dòng)鏈短堅實基礎、行程大稍有不慎、定位精度高、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)等地,使其逐漸成為精密驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域的理想驅(qū)動(dòng)器提供有力支撐。
利用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精密平臺(tái)
直線電機(jī)在工業(yè)上的應(yīng)用
在工業(yè)應(yīng)用方面,多家公司已有多款相機(jī)聚焦鏡頭應(yīng)用了超聲電機(jī)保供,使得相機(jī)聚焦系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單自行開發,聚焦快,噪聲小責任。
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