線性精密平臺(tái)是直線電機(jī)製度保障、直線模組增產、DD馬達(dá)以及大理石平臺(tái)組合，為線性平臺(tái)之復(fù)合組合，其組合精度高顯示，性能更優(yōu)等特性不合理波動。由直線電機(jī)與U型結(jié)構(gòu)之線性滑軌構(gòu)成明確了方向，運(yùn)用復(fù)合化不斷創新、輕量化與模組化之趨勢(shì)首要任務，結(jié)合高精度綠色化、高負(fù)載與高剛性等設(shè)計(jì)理念所自行開發(fā)“l展？晒?jié)省安裝使用空間與維修成本保持穩定；已廣泛應(yīng)用在精密機(jī)械、半導(dǎo)體設(shè)備與其他需要精密定位的機(jī)構(gòu)上面向。
 
 
 
線性精密定位平臺(tái)也叫直線驅(qū)動(dòng)定位平臺(tái)動力，主要特點(diǎn)有直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，不存在中間傳遞環(huán)節(jié)互動式宣講。優(yōu)點(diǎn)主要有：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單效高性，剛度高，推重比大自動化，易獲得較高的加速度提升，無回差間隙，精度高不折不扣；缺點(diǎn)主要表現(xiàn)在：抗干擾能力差支撐能力，電機(jī)存在端部效應(yīng)，散熱困難高效利用。為了減小對(duì)精度的影響特征更加明顯，在定子和動(dòng)子之間安裝了氣浮或磁浮軸承，來增強(qiáng)直線電機(jī)的抗干擾能力講理論，同時(shí)靜壓氣浮軸承的氣流可帶走產(chǎn)生的部分熱量的可能性。對(duì)推力波動(dòng)效應(yīng)具有一定的隔離和衰減作用，減小非線性和不確定因素對(duì)系統(tǒng)的影響服務為一體，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的近零摩擦問題。

 

比如XY線性精密平臺(tái)
 
 線性精密平臺(tái)通過氣浮軸承支承在大理石基座上，通過X-Y 向短行程平面電機(jī)及驅(qū)動(dòng)臂要落實好，與長行程直線電機(jī)相連，實(shí)現(xiàn)線性精密平臺(tái)的長行程定位更默契了，短行程測(cè)量及運(yùn)動(dòng)矯正先進技術，聯(lián)合實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的納米定位的目標(biāo)。  其核心測(cè)量裝置——激光干涉儀和光鏡及接收器分別安裝在氣浮定位平臺(tái)下方的支架上不合理波動，反射鏡安裝在氣浮定位平臺(tái)上宣講手段。當(dāng)線性平臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過由激光干涉儀組成的測(cè)量系統(tǒng)積極拓展新的領域，測(cè)量氣浮定位工作臺(tái)的直線運(yùn)動(dòng)誤差配套設備。實(shí)驗(yàn)工作臺(tái)是由一臺(tái)長行程直線電機(jī)來驅(qū)動(dòng)氣浮工作臺(tái)的長行程運(yùn)動(dòng)更優質，X-Y 短行程直線電機(jī)完成氣浮定位工作臺(tái)的繞Z 軸和沿X、Y 方向的平移推進高水平；沿Z 向的平動(dòng)定位由其下方的柔性支承調(diào)節(jié)系統(tǒng)完成脫穎而出。