隨著直線電機(jī)技術(shù)以及大理石平臺(tái)使用的普及十分落實，直線電機(jī)的技術(shù)發(fā)展轉(zhuǎn)向線性精密平臺(tái)方向發(fā)展，可以進(jìn)一步提高線性精密平臺(tái)的定位精度。相對(duì)傳統(tǒng)的機(jī)械加工精度只能達(dá)到一般的加工精度認為，傳統(tǒng)加工精度有力扭轉，已經(jīng)達(dá)到加工的物理極限表示。整個(gè)線性精密平臺(tái)是由一系列精密的零部件組合而成改進措施，每一個(gè)零部件對(duì)系統(tǒng)精度的影響主要是由幾何特征規模、運(yùn)動(dòng)軌跡和動(dòng)力學(xué)固有特征等共同決定形式。實(shí)際結(jié)構(gòu)之間的相互作用是決定線性精密平臺(tái)的主要因素建設應用。在對(duì)機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行最初設(shè)計(jì)時(shí)，設(shè)計(jì)者圍繞每一個(gè)零部件所能實(shí)現(xiàn)的功能進(jìn)行系統(tǒng)設(shè)計(jì)日漸深入。一般來(lái)說(shuō)動力，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)過(guò)程中，存在的中間傳遞環(huán)節(jié)越多互動式宣講，帶來(lái)的系統(tǒng)誤差也越大自然條件。在線性精密平臺(tái)的設(shè)計(jì)研發(fā)過(guò)程中，多采用直線電機(jī)開展、氣浮軸承以及DD馬達(dá)直接驅(qū)動(dòng)的模式或者采用某幾種方式的組合將進一步，配大理石平臺(tái)底座，來(lái)實(shí)現(xiàn)高速高精運(yùn)動(dòng)發展成就，將精度誤差減小到最低限度成就。但是，采用不同的驅(qū)動(dòng)方式的組合原理來(lái)實(shí)現(xiàn)高速高精運(yùn)動(dòng)開展面對面，并不是簡(jiǎn)單的將兩者進(jìn)行疊加系統。
 
 實(shí)際結(jié)構(gòu)之間具有很強(qiáng)的耦合作用，耦合因素的物理學(xué)特征就成為影響這類(lèi)線性平臺(tái)精度的主要因素進一步提升。另一方面空間廣闊，采用由旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)組成的位移補(bǔ)償系統(tǒng)，如在超線性精密平臺(tái)中常見(jiàn)到的柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)改革創新，可以對(duì)精度誤差和動(dòng)力學(xué)誤差進(jìn)行有效的補(bǔ)償知識和技能。實(shí)際的機(jī)械系統(tǒng)為了實(shí)現(xiàn)確定的功能取得顯著成效，都具有一定的加速度，而不是處于靜止?fàn)顟B(tài)實現，系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)特性對(duì)系統(tǒng)性能起著重要的作用不容忽視。一般情況下，系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要求具有較小的慣性力和較大的剛度服務體系，則相應(yīng)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)性能說服力、靜力學(xué)性能、動(dòng)力學(xué)性能以及穩(wěn)定性都會(huì)得到相應(yīng)的提高分析。結(jié)構(gòu)自身的重量表示、數(shù)量、組成結(jié)構(gòu)的材料的空間
分布等都會(huì)對(duì)系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)特性產(chǎn)生影響非常激烈。絕大多數(shù)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)作用位置并不是作用在系統(tǒng)的質(zhì)心上競爭力所在。同時(shí)由于系統(tǒng)支承和連接部件的剛度是有限的，會(huì)產(chǎn)生一定的慣性力領域，引起系統(tǒng)的振動(dòng)體系流動性，造成振動(dòng)誤差。如精密三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)帶來全新智能，極小的加速度都會(huì)對(duì)
系統(tǒng)的測(cè)量精度產(chǎn)生影響實現了超越。在線性精密平臺(tái)的設(shè)計(jì)過(guò)程中，采用無(wú)質(zhì)量高剛度的氣浮支承技術(shù)新型儲能，將支承件的慣性力減小到最小創新能力，對(duì)提高系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)特性起到積極的作用，可以進(jìn)一步提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性範圍。

系統(tǒng)的加速度載荷求得平衡、結(jié)構(gòu)本身的剛度、材料的質(zhì)量分布等空間廣闊，都會(huì)對(duì)系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)特性產(chǎn)生影響至關重要。線性精密平臺(tái)在持續(xù)的微小振動(dòng)作用下，導(dǎo)致系統(tǒng)的定位精度下降服務品質。

線性精密平臺(tái)的應(yīng)用行業(yè)

如以光刻機(jī)為代表的超精密IC設(shè)備的研發(fā)階段的發生，系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)特征隨著特征線寬的持續(xù)減小，對(duì)定位精度的影響變得越來(lái)越突出影響。掌握超精密系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)組成和系統(tǒng)本身的動(dòng)力學(xué)特性新的動力，對(duì)設(shè)備的制造、選擇有效的隔振措施發展契機、減小振動(dòng)的影響廣泛關註，對(duì)改善系統(tǒng)的性能等都具有重要的指導(dǎo)意義。

在精密加工領(lǐng)域，系統(tǒng)本身的動(dòng)力學(xué)特性對(duì)系統(tǒng)精度的影響優勢領先，隨著制造的精微化迎來新的篇章，顯得越來(lái)越突出。線性精密平臺(tái)是精密加工領(lǐng)域主要的加工定位推動並實現、快速傳輸?shù)尿?qū)動(dòng)系統(tǒng)薄弱點。在運(yùn)行過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一定的動(dòng)態(tài)負(fù)載，對(duì)線性精密平臺(tái)的定位精度產(chǎn)生影響信息化。從系統(tǒng)的角度形勢，對(duì)線性精密平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)力學(xué)特性的研究分析實踐者，相對(duì)比較成熟取得明顯成效。

但是隨著IC產(chǎn)業(yè)的特征線寬進(jìn)一步減小，對(duì)線性精密平臺(tái)提出了更高的要求數據，如定位精度創新的技術、運(yùn)行速度和運(yùn)行加速度等進(jìn)一步提高，需要對(duì)現(xiàn)有線性精密平臺(tái)提出優(yōu)化方案顯著、改進(jìn)方法快速增長。這不僅是技術(shù)發(fā)展的需要，而且也是社會(huì)性能、市場(chǎng)共同推動(dòng)的結(jié)果初步建立。

為了線性精密平臺(tái)的定位精度，對(duì)誤差和非線性因素的消減顯得越來(lái)越重要供給。無(wú)摩擦的方法、小摩擦的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌是消除直線電機(jī)定位平臺(tái)的非線性特征和非確定性因素的主要措施。在直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的定位平臺(tái)系統(tǒng)中進行探討，直線電機(jī)的波動(dòng)效應(yīng)會(huì)直接影響到平臺(tái)的定位精度落到實處。在運(yùn)動(dòng)行程內(nèi)，基于軟件的波動(dòng)補(bǔ)償控制策略對(duì)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)軌跡的補(bǔ)償和誤差的控制是有限的最新。因此技術創新，在精密加工領(lǐng)域，出現(xiàn)了基于氣浮支承技術(shù)或（和）磁浮支承技術(shù)重要作用，以及直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)技術(shù)為載體的精密定位平臺(tái)持續向好。一般多采用直線電機(jī)和靜壓氣浮軸承的混合驅(qū)動(dòng)方式，從硬件上對(duì)力的波動(dòng)效應(yīng)以及系統(tǒng)的非線性特性充足。
 
 
 進(jìn)行有效的隔離消減
由于壓縮氣體的均衡作用進一步推進，導(dǎo)致靜壓氣浮軸承可實(shí)現(xiàn)較高的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性，在精密機(jī)械中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用方案，而且具有近零摩擦和低熱量產(chǎn)生等特點(diǎn)應用的選擇。
 
由于國(guó)外的技術(shù)封鎖，最先進(jìn)的線性精密平臺(tái)無(wú)法進(jìn)入國(guó)內(nèi)市場(chǎng)左右，資料相對(duì)較少背景下，而且技術(shù)本身的保密性很強(qiáng)綜合措施。對(duì)整個(gè)線性精密平臺(tái)定位的研究，國(guó)內(nèi)還處于起步階段自然條件，屬于尚待創(chuàng)新性研究的領(lǐng)域設計標準，需從基礎(chǔ)研究開(kāi)始。要進(jìn)一步提高精密加工的技術(shù)水平互動互補，線性精密平臺(tái)技術(shù)已成為主要的制約因素發揮重要帶動作用。研發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超精密定位平臺(tái)，是既具有科研價(jià)值意料之外，又具有時(shí)代挑戰(zhàn)的科研任務(wù)文化價值。