線性精密平臺一般多采用多個直線電機或直線模組進行驅(qū)動著力增加，將電能直接轉(zhuǎn)換成直線運動 的機械能，而不需要中間的傳動裝置文化價值，將直線運動直接傳遞給驅(qū)動部件長足發展。采用直線電 機直接驅(qū)動進給系統(tǒng)已成為高速高精運動系統(tǒng)發(fā)展的主流方向事關全面。

線性精密平臺已經(jīng)在電子加工領域得到了廣泛的應用關規定，如拋光機品質、光刻 機不負眾望、蝕機非常完善、大面積液晶顯示面板的制造和檢測性能穩定、光學掃描檢測^[等的工作平臺都要滿足定位精度、運動速度作用、運動行程以及要具有較快的反應能力等基本工作要求情況正常。這 些要求之間既相互聯(lián)系又相互制約行業分類。定位平臺的高速度和高精度本身就是一對矛盾， 為了滿足高精度和微小位移分辨率的要求提高鍛煉。在有限的伺服調(diào)速范圍內(nèi)發展邏輯，線性精密平臺的速度就不能進一步地提高。另外有所提升，大行程和高精度也是一對矛盾聽得進，行程越大，在同樣精度條件下對線性平臺導軌的直線度誤差也越敏感先進水平，對平臺的加工和安裝精度也提 出了相應的挑戰(zhàn)便利性。在這些矛盾中，最突出的問題是如何對精密運動部件間的潤滑重要平臺、接 觸新技術、摩擦等非線性影響因素進行消除和隔離。采用氣浮支承技術就是一種有效的解決 措施順滑地配合，將定位平臺的移動部分和固定部分進行氣浮隔離深入，實現(xiàn)近零摩擦，并對力的波 動效應進行消減高質量發展。

線性精密平臺的結(jié)構(gòu)形式來看全方位，主要有H 形高效節能、T 形影響力範圍、“口”形三種不同的 結(jié)構(gòu)形式（如圖1.2）。一般氣浮軸承安裝配置時新創新即將到來，多采用對稱結(jié)構(gòu)（如圖1.3中（b））邁出了重要的一步、（c）、（d））設施，來減小法向電磁力對系統(tǒng)的影響需求。當系統(tǒng)的執(zhí)行部件處于非對稱狀態(tài)時， 采用圖1.3中（a）中形式的結(jié)構(gòu)
 
線性精密平臺一般都安裝在大理石平臺基座上面組合運用，在工作平臺與大理石基座之間采用氣浮軸承支承技術更讓我明白了，將外界的激勵、振動等干擾因素進行隔離積極。在對線性精密平臺進行動力學特性分析和優(yōu)化研究時探索，可認為超精密氣浮定位平臺是處于完全隔離狀態(tài)，不受外界干擾產業。

線性精密平臺按照系統(tǒng)的精度等級和行程的大小滿意度，主要分為小行程、極高 精度的工作平臺和大行程高精密定位工作平臺可持續。小行程高精度工作平臺大多采用壓電 元件（如壓電陶瓷）和電磁元件（如直線電機主要抓手、音圈電機）進行驅(qū)動體製，行程大多在數(shù) 十微米的范圍之內(nèi)，相應的位移分辨率可高達一個納米創新科技；而大行程高精密的工作平臺 是指行程達毫米級以上服務延伸，大多采用氣浮支承和電磁元件進行驅(qū)動，定位精度略低于小 行程的定位工作平臺高效流通。