博智達(dá)機(jī)器人直線電機(jī)技術(shù)已大量應(yīng)用于半導(dǎo)體業(yè)所需的最先進(jìn)運(yùn)動系統(tǒng)。如果精度等級需要達(dá)到亞微米級方案，位置穩(wěn)定性需要納米級各領域，必須用最先進(jìn)的技術(shù)。 對這樣的要求不斷豐富，任何部件缺陷都將影響整機(jī)性能實施體系。正因為此，博智達(dá)機(jī)器人為用戶提供全套運(yùn)動系統(tǒng)平臺，它具有最高質(zhì)量的部件和最好的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計技術(shù)效果較好。在晶圓檢測工具中重要的意義，需要極高的精度和極高產(chǎn)能。
為滿足高標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用要求開拓創新，博智達(dá)機(jī)器人采用LSM直線電機(jī)以及其特有功能滿足這種高科技行業(yè)要求持續發展。最終，這些重要部件成為實現(xiàn)最高性能機(jī)械系統(tǒng)的組成部分促進善治。
例如擴大， 右圖中的滑臺在刀具位置的加速度達(dá)到1g，運(yùn)動速度1m/s實事求是， 精度1.5微米進行探討， 重復(fù)精度200納米。使用一體化的電機(jī)服務水平，控制單元最新，位置測量系統(tǒng)和機(jī)械設(shè)計，實現(xiàn)亞納米級短行程定位運(yùn)動處理方法。
AOI / 貼片機(jī)
 

在大部分微電子器件生產(chǎn)中都需要進(jìn)行無損檢測重要作用。這種檢測用于確保產(chǎn)品功能和可靠性。由于是在線檢測習慣，因此速度必須快充足，精度必須高，確保生產(chǎn)線產(chǎn)
能不受品質(zhì)控制程序的影響的積極性。
根據(jù)被測產(chǎn)品類型綠色化發展，從無源器件到復(fù)雜IC，需要用不同的檢測技術(shù)不久前，例如光學(xué)檢測用上了，X射線檢測或超聲檢測,博智達(dá)機(jī)器人產(chǎn)品在2D和3D自動光學(xué)檢測（AOI）設(shè)備中有廣泛應(yīng)用，由直線電機(jī)技術(shù)構(gòu)成的全套運(yùn)動系統(tǒng)帶給用戶高精度和最高產(chǎn)能能力建設。
檢測設(shè)備中關註，為達(dá)到最高性能，通常兩個重要系統(tǒng)必須保持同步：運(yùn)動平臺和檢測系統(tǒng)本身無障礙。由于HANS能夠提供帶運(yùn)動控制單元的完整運(yùn)動平臺系統(tǒng)連日來，確保了檢測設(shè)備的關(guān)鍵運(yùn)動技術(shù)要求。這使OEM公司能夠?qū)Ｗ⒂谄湓跈z測系統(tǒng)認為、缺陷識別軟件等方面的核心競爭力系統，同時所需精度，重復(fù)精度和產(chǎn)能由經(jīng)驗豐富的運(yùn)動系統(tǒng)供應(yīng)商—博智達(dá)機(jī)器人公司保證重要意義。